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簡(jiǎn)要描述：國(guó)儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-06-06訪 問(wèn) 量：529詳細(xì)介紹
| 品牌 | 國(guó)儀量子 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
| 圖像采集速度 | 10 ns/pixel，2*100 M pixel/s | 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式) |
| 分辨率 | 1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM | 視場(chǎng)大小 | 最大視場(chǎng)1*1 mm2，高分辨微畸變視場(chǎng)64*64 um2 |
| 樣品臺(tái)精度 | 重復(fù)定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um |
國(guó)儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺(tái)減速、動(dòng)態(tài)光軸、浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時(shí)保證了納米級(jí)分辨率。
國(guó)儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場(chǎng)景的自動(dòng)化操作流程設(shè)計(jì)，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。
高速掃描驅(qū)動(dòng)器
駐點(diǎn)時(shí)間10 ns/pixel，
最快采集速度2*100 M pixel/s
電子過(guò)濾系統(tǒng)
SE/BSE信號(hào)自由切換，
信號(hào)混合比例可調(diào)
全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)
可實(shí)現(xiàn)高分辨大場(chǎng)模式，
4 nm像素點(diǎn)最大視場(chǎng)達(dá)64*64 um2
樣品臺(tái)減速技術(shù)
降低入射電子落點(diǎn)電壓，
同時(shí)提高回收電子的收集效率
浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡
物鏡磁場(chǎng)浸沒(méi)樣品
實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率
1、高速自動(dòng)化
全自動(dòng)上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
2、大場(chǎng)低畸變
跟隨掃描場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化的光軸，實(shí)現(xiàn)了更低的場(chǎng)邊緣畸變
3、低壓高分辨
樣品臺(tái)減速技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時(shí)保證高分辨率
| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE | |
| 1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE | |||
| 0.9nm@30kV，STEM | |||
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非減速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 電子槍類(lèi)型 | 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | ||
| 物鏡類(lèi)型 | 浸沒(méi)式電磁復(fù)合物鏡 | ||
| 偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) | 靜電偏轉(zhuǎn)器 | ||
| 樣品裝載系統(tǒng) | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制，無(wú)油真空系統(tǒng) | |
| 樣品監(jiān)控 | 樣品倉(cāng)監(jiān)控水平攝像頭； 換樣倉(cāng)監(jiān)控垂直攝像頭 | ||
| 樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 | ||
| 樣品臺(tái) | 類(lèi)型 | 電機(jī)驅(qū)動(dòng)3軸樣品臺(tái)（*可選配壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)） | |
| 行程 | X、Y軸：110mm； Z軸：16mm； | ||
| 重復(fù)定位精度 | X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm； | ||
| 換樣方式 | 全自動(dòng)控制 | ||
| 換樣時(shí)間 | ＜15 min | ||
| 換樣倉(cāng)清洗 | 全自動(dòng)控制等離子清洗系統(tǒng) | ||
| 圖像采集與處理 | 駐點(diǎn)時(shí)間 | 10 ns/pixel | |
| 圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 圖像大小 | 24K*24K | ||
| 探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)混合電子探測(cè)器 | |
| 選配 | 低角度背散射電子探測(cè)器 | ||
| 鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測(cè)器 | |||
明場(chǎng)透射電子探測(cè)器 | |||
| 高角/中角/底角暗場(chǎng)透射電子探測(cè)器 | |||
| 壓電驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) | |||
| 高分辨大場(chǎng)模式 | |||
| 樣品倉(cāng)等離子清洗系統(tǒng) | |||
| 6英寸樣品裝載系統(tǒng) | |||
| 主動(dòng)減震臺(tái) | |||
| AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu) | |||
| 軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 | |
| 操作系統(tǒng) | Windows | ||
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 | ||
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)樣品識(shí)別、自動(dòng)選區(qū)拍攝、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 | ||
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