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簡要描述：KOSAKA臺階儀ET200A薄膜測厚儀適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。ET200A臺階儀擁有高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，安定的測量過程及微小的測定力可對應軟質(zhì)樣品表面。該型號臺階儀采用直動式檢出器，重現(xiàn)性高。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-01-29訪 問 量：1291產(chǎn)品分類
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| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
|---|
KOSAKA臺階儀ET200A薄膜測厚儀
產(chǎn)品概述：
ET200A臺階儀適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。
ET200A臺階儀擁有高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，安定的測量過程及微小的測定力可對應軟質(zhì)樣品表面。
該型號臺階儀采用直動式檢出器，重現(xiàn)性高。
KOSAKA臺階儀ET200A薄膜測厚儀產(chǎn)品參數(shù)
| 最大試片尺寸 | Φ200mm×高度50mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ ≤ 1nm |
| 測定范圍 | Z:600um X:100mm |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 10UN~500UN (1mg-50mg) |
| 載物臺 | Φ160mm, 手動360度旋轉(zhuǎn) |
ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
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